Microanálisis dispersivo en energía en el microscopio electrónico de barrido

Abstract

Cuando un haz de electrones de alta energía (10 a 50 keV) incide sobre la superficie de una muestra, da origen a una serie de señales. En el presente trabajo se analizará en particular el proceso de emisión de radiación X característica, y la información que se puede obtener a partir de su análisis, sobre la microestructura de la muestra.