Microanálisis dispersivo en energía en el microscopio electrónico de barrido

Abstract

Cuando un haz de electrones de alta energía (10 a 50KeV) incide sobre la superficie de una muestra, da origen a la emisión de rayos X mediante dos procesos. Por un lado, los electrones del haz son frenados al aproximarse a la nube electrónica negativa de los átomos de la muestra, y parte de su energía es emitida como radiación electromagnética de longitud de onda muy corta, en el rango correspondiente a los rayos X.