Proceso para la fabricación de nanojunturas Josephson y nanodispositivos superconductores de interferencia cuántica (squids) y dispositivo electrónico obtenido

Abstract

Un proceso para la fabricación de junturas josephson en escala nanométrica utilizando un microscopio de fuerza atómica (afm) en el modo indentación y técnicas usuales de litografía óptica. El sistema consta de un electrodo inferior superconductor, una barrera metálica o aislante y un electrodo superior superconductor metálico. La utilización de la nanoindentación permite reducir el tamaño característico de la juntura lo que aumenta la homogeneidad de la barrera, y permite solucionar el problema de los defectos de superficies en superconductores de alta temperatura crítica. El método incluye la fabricación dispositivos electrónicos basados en nanojunturas josephson para su aplicación en el desarrollo de nano-squids como sensores magnéticos para nano-objetos.