Microscopía electrónica de láminas delgadas

Abstract

El Microscopio Electrónico de Barrido (Scanning Electron Microscope SEM) es un instrumento desarrollado hace tres décadas, que permite la observación y el análisis de toda clase de superficies. Las imágenes se obtienen mediante un sistema óptico electrónico constituido por los siguientes módulos: un sistema de doble deflexión del haz electrónico; un sistema de detección de las señales originadas en la superficie de la muestra; un sistema electrónico de amplificación de estas señales; y finalmente, un sistema de visualización final de las imágenes (Tubo de Rayos Catódicos).