Dispositivo electrónico integrado con recubrimiento sensible para la detección de gases o moléculas biológicas y método de fabricación del mismo

Abstract

La presente solicitud se refiere a un dispositivo electrónico integrado con recubrimiento sensible para la detección de gases o moléculas biológicas, que posee un dispositivo microchip de sensado con la electrónica integrada al chip, que como elemento novedoso incluye una ventana, que deja libre contactos con la deposición de un recubrimiento sensible sobre ellos, que muestra un cambio en alguna propiedad eléctrica luego de interactuar con la molécula que se desea detectar. otro aspecto de la presente es el método de fabricación del dispositivo electrónico integrado, que comprende las siguientes etapas: 1) diseño de mascaras, previendo una ventana para dejar libres los contactos sensores de interés y para la futura implementación de un recubrimiento sensible; 2) fabricación del microchip mediante proceso cmos, liberando en la capa de pasivación una o más regiones, correspondientes a dichas una o más ventanas; 3) deposición de un recubrimiento sensible sobre los contactos relacionados a la ventana originada en la capa de pasivación. Algunos ejemplos de detección pueden ser: polinucleótidos como ácido desoxirribonucleico (adn) o ácido ribonucleico (arn), proteínas, enzimas, péptidos, anticuerpos, antígenos, glucosa, células tumorales, bacterias, virus, nitrógeno, oxígeno, dióxido de carbono, monóxido de carbono, etc.