Proceso para la fabricación de sistemas multiferroicos compuestos, desarrollo de nanodispositivos memresistivos y dispositivo electrónico obtenido

Abstract

Un proceso para el depósito de películas delgadas ferromagnéticas y ferroeléctricas, así como la utilización de técnicas de litografía para la fabricación de un sistema cuya resistencia eléctrica dependa de las mediciones y los estados anteriores aplicados al dispositivo. La fabricación de un sistema memresistivo compuesto esencialmente de una capa sensora, típicamente un material ferromagnético o superconductor sensible a la polarización eléctrica y una capa ferroeléctrica crecida sobre la primera. Las técnicas de microfabricación involucradas son extremadamente simples y los espesores de las capas son lo suficientemente importantes como para eliminar los problemas que presentan los dispositivos del estado del arte, facilitando y simplificando el proceso de fabricación.