Pulverización catódica.

Abstract

Hemos incrementado en un orden de magnitud la sensibilidad de un método de medición del coeficiente de pulverización catódica S, y hemos extendido su aplicación para incluir la posibilidad de variación del ángulo de incidencia dé los proyectiles. Utilizando este método, se ha medido S en función de la fluencia, del ángulo y de la energía de incidencia, usando iones de He, Ne, Ar y Ar 2, y Xe y Xe2, como proyectiles, para un intervalo de energías entre 1 y 50 KeV, y de ángulos de incidencia entre 0°y 84° y en condiciones experimentales que aseguran la limpieza de la superficie de los blancos. Así, al medir a muy bajas fluencias, se encontró un valor de S elevado respecto al corrientemente aceptado y que corresponde a fluencias medias, y el incremento puede ser atribuido a la topografía superficial inicial del blanco. Al medir la dependencia angular de S, se encontró que para proyectiles livianos respecto al blanco, la anisotropía de la cascada de colisiones hace que la dependencia angular sea más fuerte que la prevista por la teoría. Hemos también hallado una ley de escala que permite predecir el ángulo correspondiente al máximo en S para una amplia gama de valores de la energía de incidencia y de pares proyectil-blanco. Al estudiar la dependencia de S con la energía, se determinó la existencia de efectos no lineales en la pulverización catódica en un rango de energías de incidencia en cual su aparición no estaba prevista. Asimismo, hemos encontrado una relación empírica que permite predecir la existencia de efectos no lineales y la magnitud de su contribución a S.