Topographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures

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cnea.localizacionCentro Atómico Bariloche
cnea.tipodocumentoARTÍCULO CIENTÍFICO
dc.contributor.authorSalazar Alarcón, L.
dc.contributor.authorMartínez,E. D.
dc.contributor.authorRodríguez, L. M.
dc.contributor.authorPastoriza, H.
dc.contributor.cneaproductorGerencia Física. Departamento Materia Condensada. División Bajas Temperaturas
dc.date.accessioned2024-05-07T13:37:13Z
dc.date.available2024-05-07T13:37:13Z
dc.date.issued2016-05-22
dc.description.abstractDuring SU-8 standard photolithography process, a patterned topography is formed with a characteristic height profile produced by the different shrinkage of the UV exposed and masked regions. We study the change of wettability, film solubility, and topographic modifications on SU-8 films of different thicknesses and show its relevance in the formation of spinning-flow arrays on top layers made from positive photoresists. Also, considerable contrast in film solubility and surface energy as observed from contact angle measurements is produced. Interface diffusion of the photoresists was also observed and followed by Rutherford Back Scattering. We discuss the derivations of the mentioned effects concerning the limitations to multilayered microfabrication processes and possibilities to take advantage of the surface profiles obtained.
dc.description.institutionalaffiliationFil.: Salazar Alarcón, L. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
dc.description.institutionalaffiliationFil.: Martínez, E. D. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
dc.description.institutionalaffiliationFil.: Rodríguez, L. M. Comisión Nacional de Energía Atómica. Laboratorio de Colisiones Atómicas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
dc.description.institutionalaffiliationFil.: Pastoriza, H. Comisión Nacional de Energía Atómica. Instituto de Nanociencia y Nanotecnología. Laboratorio de Bajas Temperaturas; Argentina; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas; Argentina
dc.description.recordsetsectionProducción científica
dc.description.recordsetseriesContribución a revistas científicas
dc.format.extent8 p.
dc.identifier.citationAdvances in Materials Science and Engineering. Vol. 2016, no. (2016), p. 5278102
dc.identifier.doihttp://dx.doi.org/10.1155/2016/5278102
dc.identifier.issn1687-8434
dc.identifier.issn1687-8442
dc.identifier.urihttps://nuclea.cnea.gob.ar/handle/20.500.12553/5392
dc.language.ISO639-3eng
dc.publisherHindawi
dc.relation.ispartofv. 2016
dc.relation.ispartofseriesAdvances in Materials Science and Engineering
dc.rights.accesslevelinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
dc.subject.fordCIENCIAS NATURALES
dc.subject.fordCIENCIAS FÍSICAS
dc.subject.inisRETRACCION
dc.subject.inisMEMS
dc.subject.inisESPECTROSCOPIA DE RETRODIFUSION RUTHERFORD
dc.subject.keywordShrinkage
dc.subject.keywordMEMS
dc.subject.keywordRutherford backscattering spectroscopy
dc.titleTopographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures
dc.typeARTÍCULO
dc.type.openaireinfo:eu-repo/semantics/article
dc.type.snrdinfo:ar-repo/semantics/artículo
dc.type.versioninfo:eu-repo/semantics/publishedVersion

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