Sistema de medición de características.

Abstract

Usando el principio de detección en fase y análisis armónico, se ha implementado un sistema de determinación de características C-V, R“ l-V, dC/dV-V y dR-l/dV-V y su dependencia con la frecuencia, apropiado para analisis de dispositivos semiconductores. Debido a que se trata de un sistema que no actúa por resonancia, permite determinar variaciones temporales de los parámetros C, R~1 y sus derivadas. Con el mismo es factible la medición precisa de variaciones de capacidad del orden de 10-2 pF aún en presencia de bajas impedancias de fuga operando en el rango de 20 Hz a 50 KHz.