Microanálasis dispersivo en energía en el mcroscopio electrónico de barrido

Abstract

En el presente trabajo se dan los aspectos básicos de una nueva técnica desarrollada en los últimos años, en la cual se mide directamente la ENERGIA de los rayos X característicos, y que se denomina ANALISIS DISPERSIVO EN ENERGIA. En realidad, la longitud de onda y la energía están relacionadas por la expresión (1 .1) y cualquiera de ellas caracteriza unívocamente la radiación X que se analiza. Las energías de los rayos X característicos son analizadas por un detector de estado sólido. Este consta de una lámina de Si monocristalino tratado con Li (Fig.4).